摘要：统计过程控制（SPC）是应用数理统计分析来监控生产过程，提升过程能力的工具，主要强调过程的预防，适用于各行业的质量控制过程。本文简述SPC在VDMOS功率器件制造过程中的应用，以对生产过程中发现的问题提出预警，及时解决，恢复过程稳定，从而提高和控制产品质量。
  关键词：SPC；过程控制；功率器件